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Halbleiter: 20 Jahre Forschung an den Grenzen der Physik – Wie Zeiss die Chipherstellung revolutioniert
Zeiss ermöglicht mit seinen optischen Systemen den nächsten Technologiesprung der Halbleiterindustrie. Erstmals hat sich das hochkomplexe High-NA-Verfahren in der Praxis bewährt.
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