Halbleiter: 20 Jahre Forschung an den Grenzen der Physik – Wie Zeiss die Chipherstellung revolutioniert
Zeiss ermöglicht mit seinen optischen Systemen den nächsten Technologiesprung der Halbleiterindustrie. Erstmals hat sich das hochkomplexe High-NA-Verfahren in der Praxis bewährt.

