Ученые предложили новый метод выравнивания 3D-чипов с нанометровой точностью
В этом подходе используются лазеры и голограммы для обнаружения отклонений размером до 0,017 нанометра.
В этом подходе используются лазеры и голограммы для обнаружения отклонений размером до 0,017 нанометра.
